Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
157084 |
Автор: | Палагін В.А. |
Назва: | Методологічні основи проектування технологій виробництва компонентів мікроелектромеханічних систем |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 |
Відповідальність: |
Палагін Віктор Андрійович ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки |
Місто: | Харків |
Рік: | 2016 |
Сторінок: | 43 с. |
ББК: |
З884.1 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|