Atomic force microscope was used for investigation of grain boundaries joints in undoped nanoysilicon films. It was shown that in films with equiaxed and fibrous structure joints differ in the number and mutual arrangement of special boundaries [sigma] = 3n and of the general type boundaries.
Методами атомної силової мікроскопії досліджено с пеціальні стики границь зерен в нанокремнієвих плівках. Показано, що в плівках з рівноосьовою та волокнистою структурою стики відрізняються кількістю та взаємним розташуванням спеціальних границь [сігма] = 3n та границь загального типу.
Методами атомной силовой микроскопии исследованы стыки границ зерен в нанокремниевых пленках. Показано, что в пленках с равноосной и волокнистой структурой стыки отличаются количеством и взаимным расположением специальных границ [сигма] = 3n и границ общего типа.
