We describe a new original design of the nano-positioning device to be used in scanning probe microscopy applications. It consists of four piezoelectric elements producing linear displacements, which are mechanically combined to obtain fully independentpositioning capability along three orthogonal axes. The new device is ultra-compact, ultra-high vacuum compatible, and does not require any expensive parts to produce it. We report the results of preliminary testing of the scanning tunnelling microscopeequipped with the novel nano-positioning system, which was used to obtain images of the graphite (0001) surface in ambient environment and the Ge(111) surface in ultra-high vacuum conditions.
Описано новий оригінальний пристрій нанопозиціонування для застосування у скануючій зондовій мікроскопії. Пристрій складається з чотирьох п"єзо-електричних приводів лінійного переміщення, що механічно комбінуються в переміщення зонду скануючого мікроскопу уздовж трьох ортогональних осей у просторі. Така система єнадкомпактною, сумісною із надвисоковакуумним обладнанням та не містить компонентів високої вартості. Попереднє тестування проводилося в скаунючому тунельному мікроскопі на поверхнях графіту (0001), у повітряному середовищі та германію (111), у надви&соковакуумному середовищі.
Описывается новое оригинальное устройство нанопозиционирования для применения в сканирующей зондовой микроскопии. Устройство состоит из четырех пьезоэлектрических приводов линейного перемещения, которые механически комбини&руются в перемещения зонда сканирующего микроскопа вдоль трех ортогональных осей в пространстве. Такая система является сверхкомпактной, совместимой со сверхвысоковакуумным оборудованием и не содержит компонентов высокой стоимости. Предварительное те&стирование проводилось в сканирующем туннельном микроскопе на поверхностях графита (0001), в воздушной среде и германия (111), в условиях сверхвысокого вакуума.
