Опис документа:
| |
| Шифр: |
621.3 |
| Авт. знак: |
Мето |
| Автор: | Петров В.В., Крючин А.А., Куницький Ю.А., Рубіш В.М., Лапчук А.С. та ін. |
| Назва: | Методи нанолітографії |
| Серія: |
Проект "Наукова книга" |
| Відповідальність: |
В.В. Пектров [та ін.] ; НАН України; Ін-т проблем реєстрації інформації |
| Видавництво: | Наукова думка |
| Місто: | Київ |
| Рік: | 2015 |
| Сторінок: | 261, [2] с. |
| ББК: |
З844.1-06 |
| ISBN: | 978-966-00-1467-1 |
| Тип документу: |
Книга |
| Примітки: |
Післямова, зміст парал. укр., англ. |
| Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
|
|
