Технологія одержання кремнієвих приладових структур підвищеної якості з використанням високоенергетичних джерел випромінювання і відновлюваних термообробок
Від. щодо назв.:
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Відповідальність:
Ніконов Андрій Юрійович ; М-во освіти і науки України, Кременчуц. нац. ун-т ім. М. Остроградського
Місто:
Кременчук
Рік:
2014
Сторінок:
20 с.
ББК:
К345.5
Тип документу:
Автореферат
З 31.12.2014 по 01.03.2015 Наукова бібліотека читачів не обслуговує.
