Технологія одержання кремнієвих приладових структур підвищеної якості з використанням високоенергетичних джерел випромінювання і відновлюваних термообробок
Від. щодо назв.:
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Відповідальність:
Ніконов Андрій Юрійович ; М-во освіти і науки України, Кременчуц. нац. ун-т ім. М. Остроградського