Головна сторiнка
eng
Наукова бібліотека ім. М. Максимовича UNDP in Ukraine
Увага! Відтепер можна отримати пластиковий читацький квиток також за адресою:
проспект академіка Глушкова 2, кім. 217.

Подробиці читайте тут.
Список містить (0 документів)
Ваше замовлення (0 книжок)
Перегляд стану та історії замовлень
Допомога

Назад Новий пошук

Опис документа:

Автор: Bogdanov R., Kostiukevych O.
Назва: Zoned target in the experimental investigation of the magnetron sputtering device with two erosion zones
Видавництво: ВПЦ "Київський університет"
Рік:
Сторінок: Р. 7-11
Тип документу: Стаття
Головний документ: Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка
Анотація:   The Monte Carlo computer simulation program of the magnetron sputtering device with two erosion zones was build, in which the searching algorithm of the self-consistent starting positions of the secondary electrons on cathode was introduced. For the verification of the simulation results the zoned test target for the magnetron sputtering device was designed, which provides the measurements of the discharge current distributions along it surface. The comparison of the experimental results to the simulation demonstrates their compliance in the identical conditions.
   Побудовано комп"ютерну модель магнетронного розпилювального пристрою з двома зонами ерозії, засновану на методі Монте-Карло, де введено алгоритм пошуку самоузгоджених стартових позицій вторинних електронів на катоді. Для перевірки результатів комп"ютерного моделювання було виготовлено зоновану тестову мішень для даного магнетронного розпилювального пристрою, яка забезпечила вимірювання розподілів розрядного струму по своїй поверхні. Порівняння результатів експерименту та моделювання продемонстрували їх відповідність за однакових умов.
   Построена компьютерная модель магнетронного распылительного устройства с двумя зонами эрозии, основанная на методе Монте-Карло, в которой введен алгоритм& поиска самосогласованных стартовых позиций вторичных электронов на катоде. Для проверки результатов компьютерного моделирования была изготовлена зонированная тестовая мишень для данного магнетронного распылительного устройства, которая обеспечила из&мерения распределений разрядного тока по своей поверхности. Сравнение результатов эксперимента и моделирования продемонстрировало их соответствие при одинаковых условиях.



Пошук: заповніть хоча б одне з полів


Шукати серед складових частин документу "Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка"
Розділ:
Назва:
Будь ласка, пишіть 2-3 слова з назви БЕЗ ЗАКІНЧЕНЬ!
Так імовірніше знайти потрібний документ!
слова не коротші ніж 3 символів, розділені пробілами
Автор:
Будь ласка, пишіть прізвище автора без ініціалів!
не коротше ніж 2 символи
є повний текст
Рік видання:
Видавництво:
з     по  
Види документів:
 Книга  Брошура  Конволют (штучно створена збірка)  Рідкісне видання
 Автореферат  Дисертація
 Журнал  Газета
 Стаття  Складова частина документа
Новий тематичний пошук
       
      
        
Цей сайт створено за спiльною програмою UNDP та
Київського нацiонального унiверситету iменi Тараса Шевченка
проект УКР/99/005

© 2000-2010 yawd, irishka, levsha,