Мікроелектронні сенсори на основі наноматеріалів для військового і цивільного застосування
Видавництво:
ВІКНУ
Рік:
2011
Сторінок:
С. 33-46
Тип документу:
Стаття
Головний документ:
Київський Збірник наукових праць Військового інституту Київського національного університету імені Тараса Шевченка / Київський, університет імені національний. Вип. № 33. - Київ: ВІКНУ, 2011
Анотація:
Наведені результати аналізу, досліджень та розробок датчиків механічних величин та напівпровідникових газових датчиків на основі наноматеріалів. Для реалізації датчиків механічних величин використані ниткоподібні кристали кремнію. Напівпровідникових газові датчики реалізуються з використанням шару нанопористого кремнію. Наводяться технології отримання наноматеріалів, їх властивості та параметри датчиків на їх основі. Дані датчики можуть бути використані як для військового, так і цивільного застосування.
Приведены результаты анализа, исследований и разработок датчиков механических величин и полупроводниковых газовых датчиков на основе наноматериалов. Для реализации датчиков механических величин использованы нитевидные кристаллы кремния. Полупроводниковых газовые датчики реализуются с использованием слоя нанопористого кремния. Наводятся технологии получения наноматериалов, их свойства и параметры датчиков на их основе. Данные датчики могут быть использованы как для военного, так и гражданского применения.
Results of the analysis, researches and workings out of gauges of mechanical sizes and semi-conductor gas gauges on a basis of nanomaterials are resulted. For realisation of gauges of mechanical sizes threadlike crystals of silicon are used. Sem&i-conductor gas gauges are realised with layer use nanopores silicon. Technologies of reception of nanomaterials, their properties and parametres of gauges on their basis are directed. The given gauges can be used as for the military man, and civil a&pplication.
З 31.12.2014 по 01.03.2015 Наукова бібліотека читачів не обслуговує.
