Дослідження методів і методик, технологічних засобів керування (модифікації) властивостями напівпровідникових матеріалів і приладів твердотільної електроніки
У статті проводиться дослідження методів і методик, технологічних засобів керування (модифікації) властивостями напівпровідникових матеріалів і приладів твердотільної електроніки й оптоелектроніки з використанням іонізуючих випромінювань.
В статье проводится исследование методов и методик, технологических средств управления (модификации) свойствами полупроводниковых материалов и приборов твердотельной электроники и оптоэлектроники с использованием ионизирующих излучений.
In the article the research of methods and techniques, technological control facilities (modification) properties of semiconductor materials and devices of solid-state electronics and optoelectronics with use of ionizing radiation is conducted.