Шляхом вимірювання часу життя носіїв заряду досліджено вплив термічної та ультразвукової обробок на концентрацію точкових радіаційних дефектів в опроміненому нейтронно-легованому кремнії. Виявлено, що ультразвук суттєво змінює характер відпалу радіаційних дефектів в інтервалі температур 160-240 С. Цей ефект пояснюється стимульованими ультразвуком процесами перебудови точкових дефектів в околі домішково-дефектних скупчень.