Методами атомної силової мікроскопії та просвічуючої електронної мікроскопії досліджено стики границь зерен в нелегованих нанокремнієвих плівка. Проаналізовано вплив товщини плівок на формування стиків границь зерен
Atomic force microscope and transmission electron microscopy were used for investigation of joints of grain boundaries in undoped nanoysilicon films. The effect of film thickness on formation of grain boundaries joints have been analyzed
