Опис документа:
| |
Автор: | Стеблова О.В., Братусь О.Л., Педченко Ю.М., Євтух А.А. |
Назва: | Формування кремнієвих мікро- та наноструктур для електронної польової емісії |
Рік: | 2012 |
Сторінок: | С. 114-121 |
Тип документу: |
Стаття |
Головний документ: |
Сенсорна електроніка і мікросистемні технології |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|