Аксенов И.И., Андреев А.А., Белоус В.А., Стрельницкий В.Е., Хороших В.М.
Назва:
Вакуумная дуга. Источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование
Відповідальність:
Аксёнов И.И. [и др.] ; под ред. И.И. Аксенова ; НАН Украины ; Нац. научный центр "Харьковский физико-техн. ин-т" ; Ин-т физики твёрдого тела, материаловед. и технологий
Видавництво:
Наукова думка
Місто:
Киев
Рік:
2012
Сторінок:
726, [2] с.
ББК:
В333.31+К663.033.057.2+Ж366
ISBN:
978-966-00-1134-2
Тип документу:
Книга
Примітки:
Проект "Наукова книга"
Документ знаходиться у фонді ФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4, четвертий поверх, кім. 400,402.
