Експериментально на монокристалах кремнію вивчені зміни найбільш ймовірного пробігу і відносно числа дислокацій, які змістились із стартового положення, при фіксованих навантаженні, температурі і режимі старіння від густини дислокацій і часу старіння. Одержані дані аналізуються на основі припущення про протікання поблизу дислокацій при їх старінні процесів коагуляції атомів домішок з утворенням все більш великих домішкових центрів.
