Запропоновано спосіб вимірювання величини внутрішніх напруг у поверхневих прошарках монокристалів і монокристалічних островків, розташованих у полікристалічних або інших матрицях. Виміряні величини внутрішніх напруг у автоепітаксіальних шарах кремнію, нанесених на різні підложки, а також у поверхневих шарах кремнієвих кишень, розташованих у матриці, яка складається з декількох шарів металів. Проведено порівняння одержаних результатів з даними вимірів внутрішніх напруг іншим способом.