Виміряні еліпсометричні кути [Дельта] та [псі] світла, відбитого під фіксованим кутом падіння від шарів Al[нижній індекс 2]O[нижній індекс 3], SiO[нижній індекс 2], HfO[нижній індекс 2], нанесених на кварцове скло. Розроблена методика визначення товщинита показника заломлення шарів, яка базується на розв"язку системи двох рівнянь методом ітерацій. Визначені товщина та показник заломлення.