Головна сторiнка
eng
Наукова бібліотека ім. М. Максимовича UNDP in Ukraine
Увага! Відтепер можна отримати пластиковий читацький квиток також за адресою:
проспект академіка Глушкова 2, кім. 217.

Подробиці читайте тут.
Список містить (0 документів)
Ваше замовлення (0 книжок)
Перегляд стану та історії замовлень
Допомога

Назад Новий пошук

Опис документа:

Автор: Находкін М.Г., Куліш М.П., Литвин П.М., Родіонова Т.В., Сутягіна А.С.
Назва: Вплив товщини на структурні характеристики нанокремнієвих плівок
Рік:
Сторінок: С. 285-288
Тип документу: Стаття
Головний документ: Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка
Анотація:   Методами просвічуючої електронної мікроскопії та атомної силової мікроскопії досліджено вплив товщини нелегованих нанокремнієвих плівок, що отримані методом хімічного осадження в реакторі зниженого тиску, на характеристики їх поверхневого мікрорельєфу. Встановлена кореляція між зростанням розмірів неоднорідностей мікрорельєфу поверхні плівок та зміною типу структури плівок від рівноосьової до волокнистої.
   The surface roughness depending on thickness of nanosilicon films, produced by low-pressure chemical vapor deposition, has been investigated as by transmission electron microscope and atomic force microscope. It has been established the correlation between increasing of surface roughness and changing of film structure from equiaxial to fibrous.



Пошук: заповніть хоча б одне з полів


Шукати серед складових частин документу "Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка"
Розділ:
Назва:
Будь ласка, пишіть 2-3 слова з назви БЕЗ ЗАКІНЧЕНЬ!
Так імовірніше знайти потрібний документ!
слова не коротші ніж 3 символів, розділені пробілами
Автор:
Будь ласка, пишіть прізвище автора без ініціалів!
не коротше ніж 2 символи
є повний текст
Рік видання:
Видавництво:
з     по  
Види документів:
 Книга  Брошура  Конволют (штучно створена збірка)  Рідкісне видання
 Автореферат  Дисертація
 Журнал  Газета
 Стаття  Складова частина документа
Новий тематичний пошук
       
      
        
Бібліотечний інформаційно-освітній портал  Polpred.com Цей сайт створено за спiльною програмою UNDP та
Київського нацiонального унiверситету iменi Тараса Шевченка
проект УКР/99/005

© 2000-2010 yawd, irishka, levsha,