Головна сторiнка
eng
Наукова бібліотека ім. М. Максимовича UNDP in Ukraine
Увага! Відтепер можна отримати пластиковий читацький квиток також за адресою:
проспект академіка Глушкова 2, кім. 217.

Подробиці читайте тут.
Список містить (0 документів)
Ваше замовлення (0 книжок)
Перегляд стану та історії замовлень
Допомога

Назад Новий пошук

Опис документа:

Автор: Богданов Р.В., Костюкевич О.М.
Назва: Комп"ютерне моделювання магнетронного розпилювального пристрою з двома зонами ерозії
Рік:
Сторінок: С. 249-260
Тип документу: Стаття
Головний документ: Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка
Анотація:   Метою даної роботи є побудова комп"ютерної моделі магнетронного розпилювального пристрою для потреб нанотехнологій. Була розроблена програма, що дозволяє проводити якісний аналіз процесів іонізації та прискорення частинок у магнетронному розпилювальномупристрої з двома зонами ерозії, визначати їх розподіл по поверхні катода та енергію. За допомогою даної програми також було відтворене експериментально спостережене явище індивідуального запалювання окремих зон розряду при малих струмах та відповідних їм напругах. Як результат моделювання були отримані енергетичні спектри іонів, які бомбардують катод, їх розподіл по поверхні катода, що має важливе значення для аналізу процесу розпилення катоду-мішені.
   The aim of this work is lo build the computer model of magnetron sputtering device for a nanotechnology needs. The developed program allows of making the qualitative analysis for processes of ionization and acceleration of particles in the planar sputtering magnetron device with two sputtering zones, todetermine their distribution on the cathode surface and energy. In modeling, the program also has had to reproduce the experimentally observed phenomenon of individual zones lighting at appropriate discharge at low currents and appropriate discharge &voltages. The energy spectra of ions, which bombard the cathode and their distribution over the cathode surface, were obtained as the results of simulation. The energy of these ions is important for analysis of the process of the cathode-target sputt&ering.



Пошук: заповніть хоча б одне з полів


Шукати серед складових частин документу "Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка"
Розділ:
Назва:
Будь ласка, пишіть 2-3 слова з назви БЕЗ ЗАКІНЧЕНЬ!
Так імовірніше знайти потрібний документ!
слова не коротші ніж 3 символів, розділені пробілами
Автор:
Будь ласка, пишіть прізвище автора без ініціалів!
не коротше ніж 2 символи
є повний текст
Рік видання:
Видавництво:
з     по  
Види документів:
 Книга  Брошура  Конволют (штучно створена збірка)  Рідкісне видання
 Автореферат  Дисертація
 Журнал  Газета
 Стаття  Складова частина документа
Новий тематичний пошук
       
      
        
Бібліотечний інформаційно-освітній портал  Polpred.com Цей сайт створено за спiльною програмою UNDP та
Київського нацiонального унiверситету iменi Тараса Шевченка
проект УКР/99/005

© 2000-2010 yawd, irishka, levsha,