Чутливість до аміаку контактів нікель - n-кремній та титан

Опис документа:


Автор:	Бомк О.Й., Булавацька Я.В., Ільченко В.В., Кузнєцов Г.В., Пінчук О.М., Стріха В.І.
Назва:	Чутливість до аміаку контактів нікель - n-кремній та титан - n-кремній з бар"єром Шоткі
Рік:	1997
Сторінок:	С. 250-258
Тип документу:	Стаття
Головний документ:	Вісник Київського університету імені Тараса Шевченка
Анотація:	Наведено результати досліджень впливу аміаку на формування чазової чутливості контактних структур нікель-кремній та титан-кремній з надтонкими металевими шарами.

З 31.12.2014 по 01.03.2015 Наукова бібліотека
читачів не обслуговує.

Вибачте, зараз проходить оновлення бази системи, тому пошук тимчасово недоступний.
Спробуйте будь ласка через 20 хвилин