Пропонується новий метод обробки DLTS-спектра з використанням багатовимірної нелінійної оптимізації. Для визначення параметрів глибоких рівнів мінімізується сума квадратів відстаней від експериментальних точок до шуканої функції. Цей метод, а також вибір кореляційної функції спектрометру і одночасна обробка результатів по декількох "вікнах емісії" дозволяють вирішити проблему обробки DLTS-спектра у випадку близько розташованих на спектрі сигналів від декількох донорних та акцепторних глибоких рівнів, маленького відношення сигнал/шум, а також при наявності піків, розташованих на краю температурного діапазона спектрометра.