Визначено оптичні параметри тонких плівок оксиду цинку, виготовлених методом магнетронного розпорошення при варіюванні часу осадження та тиску газової суміші з кисню та аргону. Виявлено зростання показника заломлення при збільшенні товщини плівок ZnO. Встановлено, що найбільше значення показника заломлення для плівки ZnO, отриманої при найменшому тиску газової суміші, пов"язане з найбільшим розміром нанокристалітів.
Optical parameters of zinc oxide thin films deposited by magnetron sputtering at deposition time and total oxygen and argon gas pressure variation were determined. The increase of refractive index when elevating thickness of ZnO films was obtained. It was ascertained that the highest value of refractive index of ZnO film deposited at minimal gas pressure is due to maximal nanocrystallite size.
