Проведено спектроеліпсометричні дослідження надтонких плівок алюмінію різной товщини. Результати обрахунків представлено у вигляді спектральних залежностей оптичної провідності [сигма]. Виявлені зміни структури плівок при їх виготовленні в залежності від товщини.
З 31.12.2014 по 01.03.2015 Наукова бібліотека читачів не обслуговує.
Вибачте, зараз проходить оновлення бази системи, тому пошук тимчасово недоступний.
Спробуйте будь ласка через 20 хвилин