Головна сторiнка
eng
Наукова бібліотека ім. М. Максимовича UNDP in Ukraine
Увага! Відтепер можна отримати пластиковий читацький квиток також за адресою:
проспект академіка Глушкова 2, кім. 217.

Подробиці читайте тут.
Список містить (0 документів)
Ваше замовлення (0 книжок)
Перегляд стану та історії замовлень
Допомога

Назад Новий пошук

Опис документа:

Автор: Belousov I., Linzen S., Seidel P., Yashchuk V., Adamenko I., Lebedyeva I.
Назва: Influence of heat processes on surface morphology and planarization method for CoSi[lower index 2] films on silicon and sapphire
Рік:
Сторінок: P. 283-284
Тип документу: Стаття
Головний документ: Вісник Київського університету
Анотація:   Розроблена концепція специфічної морфології плівок поверхні CoSi[нижній індекс 2], що має місце внаслідок Co-Si-реакції при нанесенні Co на Si-підложку та відпалювання цієї системи при 650-900 [градусах]. Оцінка коєфіцієнта дифузії атомів Co в підложку Si дає значення D=10[у -7 ступені] кв.см*с[у -1 ступені], що не характерно для твердих тіл. Розглянуті процеси генерації та розповсюдження тепла в дефектах кремнієвої підложки, що служать первинними центрами Co-Si хімічних реакцій, які значною мірою впливають на морфологію поверхні CoSi[нижній індекс 2]-плівки. Запропоновані методи планарізації поверхні CoSi[нижній індекс 2]-плівки.



Пошук: заповніть хоча б одне з полів


Шукати серед складових частин документу "Вісник Київського університету"
Розділ:
Назва:
Будь ласка, пишіть 2-3 слова з назви БЕЗ ЗАКІНЧЕНЬ!
Так імовірніше знайти потрібний документ!
слова не коротші ніж 3 символів, розділені пробілами
Автор:
Будь ласка, пишіть прізвище автора без ініціалів!
не коротше ніж 2 символи
є повний текст
Рік видання:
Видавництво:
з     по  
Види документів:
 Книга  Брошура  Конволют (штучно створена збірка)  Рідкісне видання
 Автореферат  Дисертація
 Журнал  Газета
 Стаття  Складова частина документа
Новий тематичний пошук
       
      
        
Цей сайт створено за спiльною програмою UNDP та
Київського нацiонального унiверситету iменi Тараса Шевченка
проект УКР/99/005

© 2000-2010 yawd, irishka, levsha, alex