Проведено спектроеліпсометричні та спектрофотометричні дослідження тонких прозорих струмопровідних плівок In[нижній індекс 2]O[нижній індекс 3]+Sn напилених на скляні підкладки при різному тиску у вакуумній камері у видимій та ближній інфрачервоній ділянках спектру. Показано, що найкращі параметри (найбільше пропускання та оптимальну провідність одночасно) мають плівки, напилені при тиску Р=0,15 Па. Встановлено, що відпал плівок у повітрі при Т=350 С значно збільшує провідність при збереженні високого пропускання у видимій ділянці спектру.
