На основі запропонованої моделі поверхні компакт-диска реалізовано метод дифракційного контролю розмірів пітів. Показано, що вимірювання їх ширини з точність [+ чи -]1% досягається при врахуванні інтенсивності в першому і другому дифракційних порядках.