Методами кутової, спектральної та азимутальної еліпсометрії проведено контроль поверхні композитних матеріалів на основі бориду титану. Виявлено, що поверхня зразків є неоднорідною, а поверхневому шару притаманна анізотропія таких еліпсометричних параметрів як азимут відновленої лінійної поляризації та зсув фаз між ортогональними компонентами вектора поляризації світла.
Control of composite material surface was carried out using angular, spectral and azimuthal elipsometry. It was found that the samplesurface is inhomogeneous and surface layer exhibits anisotropy of such elipsometric parameters as azimuth of restored linear polarization and phase shift between orthogonal components of light polarization vector.
