Опис документа:
| |
Шифр: |
А |
Авт. знак: |
151133 |
Автор: | Шпильовий П.Б. |
Назва: | Розробка та дослідження Nb-Al тонкоплівкової технології для сенсорних застосувань |
Від. щодо назв.: |
автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 |
Відповідальність: |
Шпильовий П.Б. ; НАН України ; Ін-т фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова |
Місто: | Київ |
Рік: | 2011 |
Сторінок: | 20 с. |
ББК: |
З965-044.3 |
Тип документу: |
Автореферат |
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|