Була розроблена комп"ютерна модель плоского розпорошувального магнетронного розряду. Рух частинок описувався методом Монте-Карло. В результаті моделювання були одержані енергетичні спектри іонів, які бомбардують катод. Досліджені залежності позицій іонізацій, кутів падіння іонів, часу прольоту та їхньої кількості від тиску робочого газу та напруженості магнітного поля.
Computer model of planar sputtering magnetron discharge has been developed. Monte Carlo method has been used for describe the motion of particles. Energy spectra of ions which bombard the cathode were obtained as the results of simulation. Dependences of ionization positions, impact angles of ions, the transit time and their quantity from working gas pressure and magnetic field intensity have been investigated.
