Методом трансмиссионной электронной микроскопии (ТЭМ) исследована структура двух оксидных сенсорных материалов S-1 и S-2, полученных с помощью метода соосаждения и с использованием золь-гель метода соответственно. Установлено влияние условий получения материалов на их морфологию. Исследование сенсоров, изготовленных с применением синтезированных материалов, показало, что материал, полученный золь-гель методом, с применением этандиола-1,2 в качестве реакционной среды, обеспечивает более высокую чувствительность сенсоров к водороду и лучшее быстродействие.