За допомогою три кристального дифрактометра експериментально досліджено розсіяння рентгенівських променів кристалами кремнію з механічно порушеним поверхневим шаром. На основі сучасної моделі динамічного розсіяння написано відповідні рівняння й підраховано величини усереднених параметрів порушеного шару: його глибина, фактор Дебая - Валлера, коефіцієнти ефективного поглинання брегівської і дифузної складових повної інтегральної відбивної здатності. Зроблено оцінку розмірів розсіюючи випромінювання центрів.
