Методом хімічного вибіркового травлення вивчено закономірності руху дислокації у кристалах кремнію, що містять електрично активні термодефекти. Показано, що введення заряджених термодонорів (ТД) у ці кристали викликає збільшення часів затримки, стартових напружень для руху дислокації та зменшення їхньої швидкості. Пропонується фізична інтерпретація впливу ТД на процеси руху дислокації.
