Розглядається задача створення в Україні єдиної стандартизованої процедури метрологічної атестації методик кількісного хімічного аналізу, виконуваного фізичними методами, гармонізованої з міжнародними рекомендаціями. Викладено основні принципи метрологічної атестації розглядуваного аналізу. Обґрунтовано застосування величин аналітичних сигналів замість концентрацій для розрахунку атестаційних характеристик. Описано комп"ютерне забезпечення запропонованої процедури, яке базується на використанні апарату електронних таблиць. Чисельні приклади ілюструють процедуру метрологічної атестації рентгеноспектрального флуоресцентного аналізу.