У роботі теоретично розглянуто перетворення хвильового фронту сфокусованого оптичного випромінювання, відбитого локальною сферичною неоднорідністю поверхні. Проведено числове моделювання розсіювання когерентного випромінювання на рельєфних неоднорідностях поверхні. Запропоновано використовувати дисперсію фази хвильового фронту як інтегральний параметр для визначення ефективного радіусу окремого дефекту.
Ключові слова: дефект поверхні, дисперсія фази, хвильовий фронт.
The transformation of focused optical illumination wave front reflected from the spherical local inhomogeneity of the surface is theoretically considered in the current paper. The numerical simulation of coherent illumination scattering from the relief inhomogeneities of the surface is carried out. It is proposed to use the wavefront phase dispersion as the integrated parameter for determination of the effective radius of separate defect.
Key Words: surface defect, phase dispersion, wavefront.