Досліджено оптичні властивості плівок оксиду титана в залежності від температури металевої підкладки методом спектральної еліпсометрії. Встановлено, що при температурах підкладки 389, 422, 450, 476 та 500 °С плівки оксиду титана поглинають світло з довжинами хвиль 365-633 нм. Знайдено, що показник заломлення n плівок, напилених при цих температурах підкладки, зменшується при збільшенні температури підкладки.
The optical properties of titanium oxide films deposited on metal substrate at different its temperatures were investigated by method of spectral ellipsometry. It was obtained that titanium oxide films absorb light in wavelenght range 365-633 nm at the substrate temperatures 389, 422, 450, 476 and 500 °С. It was found that refractive index n of the films deposited at these substrate temperatures decreases while substrate temperature increases.
