Досліджено вплив структури проміжного шару купратного оксиду на електроадсорбційні властивості поверхнево-бар"єрних структур метал-кремній. В гетероструктурах з відкритою системою пор в оксидному шарі чутливість до впливу газового середовища парів води визначається як зміною опору проміжного шару, так і зміною висоти потенційного бар"єру.