Методом просвічуючої електронної мікроскопії досліджено особливості зернограничної структури в залежності від температури відпалювання для легованих фосфором полікремнієвих плівок. Аналіз експериментально отриманих розподілів границь зерен по кутах разорієнтації показав, що зростання температури відпалювання від 1040[градусів]С до 1200[градусів]С веде до збільшення кількості спеціальних границь ([сума]=3, 9, 11, 27). Передбачається, що різниця спектрів спеціальних границь для різних температур відпалювання обумовлена різними механізмами росту зерен у різних температурних інтервалах.
