Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Блин |
Автор: | Блинов И.Г., Кожитов Л.В. |
Назва: | Оборудование полупроводникового производства |
Від. щодо назв.: |
учеб. пособ. для студ. приборостроит. спец. вузов |
Відповідальність: |
И.Г. Блинов, Л.В. Кожитов |
Видавництво: | Машиностроение |
Місто: | Москва |
Рік: | 1986 |
Сторінок: | 262 с. |
ББК: |
З233-06-5я73-1 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|