Методом тривалої мікротвердості вивчено вплив деформування та електронного збудження на механічні властивості кристалів кремнію. Показано, що під дією вказаних зовнішніх факторів характер і амплітуда релаксації мікротвердості корелює з характером динамічної поведінки приповерхневих дислокацій у відповідних температурних діапазонах випробувань. Припускається, що виявлений в даній роботі немонотонний характер кривих мікротвердість-час визначається як власними точковими дефектами, так і домішковими атмосферами Котрела в околі дислокацій в приповерхневих шарах кремнію.