Проведено порівняльне дослідження жевріючого розряду із плоским, порожнинним та блоком порожнинних катодів резонаторного типу. Експерименти проводились на модернізованій промисловій установці ВУП-5 в атмосфері аргону при тисках 10(-1) - 10(-2) mop. Порожнинні катоди були виготовлені з алюмінію і попередньо оброблялись розрядом в атмосфері кисню для створення захисної плівки змінної товщини, що суттєво підвищило термін їх використання.
Ключові слова: жевріючий розряд, порожнинний катод. вольт-амперні характеристики.
The glow discharge in systems with plane cathode. hollow-cathode and block of interconnected hollow-cathodes was investigated comparatively. All experiments are realized on the basis of modernized industrial plant "ВУП-5" in the atmosphere of argon at the pressures 10(-1) - 10(-2) Torr. For the purpose of life lime increase, aluminium hollow-cathodes were processed previously by the discharge in the atmosphere of oxygen to obtain protective oxide film with variable thickness.
Key Words:glow discharge, hollow-cathode, work functions.