В роботі представлена методика числового моделювання радіочастотних розрядів низького тиску ( р < 1 тор) в аргоновій плазмі з пиловими частинками. Приведений аналіз моделі задачі на основі експериментальних даних для перетинів основних елементарних процесів в аргоновій плазмі. Взаємодія електронів та іонів з пиловими частинками в рамках моделі зводиться до додаткових елементарних процесів - кулонівського розсіяння та осідання на пилинках. Крім того, заряд пилових частинок враховується в рівнянні Пуасона при визначенні самоузгодженого потенціалу електричного поля. Методика основана на методі "частинок в комірках" та методі Монте-Карло для моделювання елементарних процесів.
In this article has presented the numerical modeling method of the low pressure(p<1 mop) radio-frequency discharges in argon plasmas with dust particles. The analysis of the model made using experimental dates of cross-sections of main elementary processes in argon plasma with dust particles. The interaction of electrons and ions with dust particles reduced to additional elementary processes - a coulomb dispersion and a deposition on dust particles. Furthermore, the dust panicles charge takes into account in the Poisson equation at calculations of the self-consistent electric &potential. The computational procedure involves the PIC - method merged with Monte-Carlo collision calculations.
