Про можливість використання особливостей вольт-амперних характеристик структур наноструктурована плівка кремнію - кремній для аналізу складу газового середовища
Проведено експериментальне дослідження газової чутливості структур хімічно модифікований кремній-кремній на основі аналізу особливостей вольт-амперних характеристик та їх других похідних.
Ключові слова: вольт-амперна характеристика, друга похідна, газова чутливість.
The experimental research of the gas sensitivity of nanostructual silicon film-silicon were investigate on the basis of the analysis of current-voltage characteristic and their second derivate.
Key Words: current-voltage characteristic, second derivate, sensitivity.
