В цій роботі ми досліджуємо функції розподілу іонів за енергією в приелектродному шарі з пиловими частинками в ємнісному радіочастотному розряді в силані та порівнюємо результати з результатами одержаними в аргоновому розряді. Моделювання виконувалось за допомогою РІС/МСС методу для широкого діапазону тиску, концентрації та радіусу пилових частинок. Наша модель включає зіткнення електронів з нейтралами, різні види зіткнень іонів з нейтралами, зіткнення позитивних та негативних іонів. Результати обчислень показали, що функції розподачу іонів за енергією для позитивних іонів SiH3+ в сипановому РЧ розряді відрізняються від функцій розподілу іонів в аргоновому розряді. Іони біля електроду одержують більшу енергію в електронегативному розряді внаслідок несуттєвої ролі процесів обміну зарядом в цих розрядах. В іонних функціях розподілу з"являються піки, які пов"язані зі значним зменшенням ширини радіочастотного приелектродного шару і відношення часу прольоту іонів через приелектродний шар до періоду розряду.
In this paper we study ion energy distributions functions (IEDFs) within an rf sheath with dust particles in SiH4 radio-frequency discharges and compare results with ones in Ar rf discharges. The simulations are carried by PIC/MCC method over a wi&de range of pressure, dust density and dust radius. Our model includes electron-neutral collisions, various kinds of collisions of ions with neutrals, positive-negative ion collisions. Results of calculations show that IEDFs for positive ions SiH3+ i&n silane rf-discharge essentially differ from IEDFS for positive ions in Ar discharges. Ions near electrodes get greater energy in electronegative discharge in consequence of inessential charge exchange processes in the rf-sheath Peaks of high energy& ions are appeared in IEDFs, which are caused by significant decreasing of the radio-frequency sheath width and the ratio of ion penetrating time through sheath to the radio-frequency discharge period. Results of calculations show that big dust parti&cles slow down ions in rf-sheaths, but the presence small dust particles can increase energy of ions. It is explained by the increasing of the potential drop near electrode.
