Робота носить методичний характер і спрямована на краще розуміння процесів які відбуваються в спекл-зсувній електронній інтерферометрії. Розглянуто різні схеми інтерферометрів, які відрізняються чутливістю до переміщень з площини та у площині, наведено кінцеві рівняння для інтенсивностей у точці спостереження. Подано аналіз малих (до ЗО нм) вібрацій, для з"ясування їх амплітуди та фази за допомогою методів електронної голометрії.
Ключові слова: спекл -зсувний, електронний інтерферометр, голометрія.
Activity has methodical character ana directional on the best fathoming of processes which occur in a speckle - pattern of electronic interferometry. Different schemes of inlerferometers which distinguer sensitivity to translation from plane and in plane surveyed, final equations for intensities in a point of observation are adduced. The assaying small (up to 30 nm) vibrations, for transpiring their amplitude and a phase with the help of methods Electronic Holometric is shown.
Key words: speckle-pattern, electronic interferometer, holometry.
