Опис документа:
| |
| Шифр: |
621.3 |
| Авт. знак: |
Бере |
| Автор: | Березин Г.Н., Никитин А.В., Сурис Р.А. |
| Назва: | Оптические основы контактной фотолитографии |
| Серія: |
Массовая библиотеак инженера. Электроника |
| Номер випуску серії: |
33 |
| Відповідальність: |
Г.Н. Березин, А.В. Никитин, Р.А. Сурис |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто: | Москва |
| Рік: | 1982 |
| Сторінок: | 103 с. |
| ББК: |
З844.1-060.6 |
| Тип документу: |
Книга |
| Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
|
|
