Парогазовый процесс низкотемпературного (< 1200 °С) превращения поликристаллического кремния в его высокоориентированные анизотропные частицы
Рік:
2006
Сторінок:
С. 88-95.
Тип документу:
Стаття
Головний документ:
Національна Доповіді Національної академії наук України: Математика. Природознавство.Технічні науки. Науково-теоретичний журнал Президії НАНУ / Національна, наук України академія. № 12. - Київ, 2006