Опис документа:
| |
| Шифр: |
53 |
| Авт. знак: |
Смор |
| Автор: | Смородина Т.А., Шефталь Н.Н., Цуранов А.П. |
| Назва: | Вхождение примесных центров в кристаллический слой полупроводника |
| Від. щодо назв.: |
Процессы образования монокристаллических слоев для микроэлектроники |
| Відповідальність: |
Н.Н. Смородина, Т.А., Шефталь, А.П. Цуранов; АН СССР, Физико-технич. ин-т, Ин-т кристаллографии; Отв. ред. И.А. Смирнов |
| Видавництво: | Наука |
| Місто: | Ленинград |
| Рік: | 1986 |
| Сторінок: | 175 с. |
| ББК: |
В379.251.4 |
| Тип документу: |
Книга |
| Документ знаходиться у фонді ФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4, четвертий поверх, кім. 400,402. |
|
|
|
|
