Фізичні основи впливу адсорбційно-емісійних процесів на формування функціонально важливих параметрів гетерофазних напівпровідникових сенсорних структур для систем контролю в біоінженерії та енергоком.
Від. щодо назв.:
Звіт про НДР (закл.)
Відповідальність:
КНУТШ. Радіофізичний фак.; Керівник НДР В. Ільченко
Місто:
Київ
Рік:
2005
Сторінок:
129с.
Тип документу:
Tехнічний документ
Анотація:
Об"єкт дослідження - Емісійні та адсорбційні процеси на гетерофазних поверхнях металів та напівпровідників.
Мета роботи - вивчення фізичних процесів, що обумовлюють ефективність явищ емісії та адсорбції в гетерофазних нанорозмірних шаруватих структурахта аналіз можливостей використання таких структур в сенсорних системах біоінженерії та приладах емісійної електроніки.
Методи дослідження - для досягнення поставленої мети застосовувалися такі методи дослідження: метод електронної оже-спектроскопії; метод мас-спектроскопії; метод емісійних досліджень; методи напорошення плівок, метод іонного тавлення та методи вимірювання вольт-амперних характеристик.
В роботі проведений аналіз ходу потенціалу в гетерофазній системі напівпровідник - діелектрик (метал)в залежності від електронних властивостей контактуючих середовищ. Проведено експериментальне дослідження емісійних властивостей кремнієвих вістрівкових емітерів отриманих методом плазмо-хімічного травлення в залежності від наступної термообробки, нанесення на поверхню кремнієвого вістря та вольфрамового керну плівок скандію.
Проведені дослідження впливу адсорбції газів на параметри вольт-амперних характеристик гетероструктур з адсорбційно активним шаром, що виготовлені на кремнієвій платформі. Досл&іджені частотні властивості параметрів другої похідної вольт-амперних характеристик таких структур. Показано, що існують резонансні ефекти в гетероструктурах на основі кремнію з надтонкими нанокристалічними адсорбційно активними плівками. Ці структур&и можуть бути використані для створення напівпровідникових газових та біо - сенсорів нового покоління. Проаналізовані можливості використання сигнальних газів для аналізу хвороб людини.
Досліджені можливості управління складом плівки двокомпонентної& сполуки з іонною ступінню зв"язку при термічному її випаровуванні у вакуумі за умови прикладання зовнішнього електричного поля в системі підкладинка - випаровувач.
Результати НДР впроваджено в навчальний процес радіофізичного факультету Київського &національного університету імені Тараса Шевченка.
Повний текст:
Для перегляду повного тексту зверніться в бібліотеку.
