Опис документа:
| |
| Шифр: |
621.3 |
| Авт. знак: |
Полт |
| Автор: | Полтавцев Ю.Г., Князев А.С. |
| Назва: | Технология обработки поверхностей в микроэлектронике |
| Відповідальність: |
Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев |
| Видавництво: | Тэхника |
| Місто: | Киев |
| Рік: | 1990 |
| Сторінок: | 206 с. |
| ББК: |
З2.844.1 |
| ISBN: | 5-335-00572-6 |
| Тип документу: |
Книга |
| Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
|
|