Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Полт |
Автор: | Полтавцев Ю.Г., Князев А.С. |
Назва: | Технология обработки поверхностей в микроэлектронике |
Відповідальність: |
Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев |
Видавництво: | Тэхника |
Місто: | Киев |
Рік: | 1990 |
Сторінок: | 206 с. |
ББК: |
З2.844.1 |
ISBN: | 5-335-00572-6 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Вибачте, зараз проходить оновлення бази системи, тому пошук тимчасово недоступний.
Спробуйте будь ласка через 20 хвилин
|
|