Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Бари |
Автор: | Барил М.А., Самойликов В.К. |
Назва: | Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем |
Серія: |
Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры |
Номер випуску серії: |
Вып. 12 |
Відповідальність: |
М.А. Барил, В.К. Самойликов |
Видавництво: | Энергия |
Місто: | Москва |
Рік: | 1978 |
Сторінок: | 112 с. |
ББК: |
З8 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|