Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
А |
Назва: | Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники |
Від. щодо назв.: |
[Учебное пособие для приборостроит. спец. вузов |
Відповідальність: |
А.А. Сазонова и др.] ; Под ред. А.А. Сазонова |
Видавництво: | Высш. шк. |
Місто: | Москва |
Рік: | 1991 |
Сторінок: | 333, [1] с. |
ББК: |
З884.1-5-05я73-1 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|