Опис документа:
| |
Шифр: |
621.3 |
Авт. знак: |
Тихо |
Автор: | Тихонов Юрий Николаевич |
Назва: | Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства |
Видавництво: | МИРЭА |
Місто: | Москва |
Рік: | 1977 |
Сторінок: | 116с. |
ББК: |
З85205-01я73-1 |
Тип документу: |
Книга |
Документ знаходиться у фонді РАДІОФІЗИЧНОГО факультету за адресою: проспект акад. Глушкова 4г, другий поверх, кім. 26,28. |
|
|
Пошук: заповніть хоча б одне з полів
|
|